環境対応技術
ゾーン

【募集対象】貴金属めっき/リサイクル/洗浄/廃液・排水処理/めっき・樹脂前処理/樹脂改質/不良品・歩留まり軽減　等

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表面改質・
ドライプロセスゾーン

【募集対象】DLCコーティング/PVD・CVD/プラズマ処理/ショットピーニング/レーザー加工/溶射・熱処理/ブラスト加工処理/試験・測定機　等

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電子部品・半導体
パビリオン

【募集対象】銅めっき・金めっき・貴金属めっき/真空蒸着・スパッタリング・イオンプレーティング/CVD/エッチング/酸化・窒化/イオン注入/アニーリング/CMP（化学機械研磨）/フォトリソグラフィ/パッシベーション/ソルダーレジスト/シリサイド形成　等

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